Установка совмещения и экспонирования переносит микроскопические рисунки с фотошаблонов на светочувствительные подложки. Новинка от Jiangsu Haisi оснащена двумя независимыми транспортными комплексами и четырьмя роботизированными манипуляторами, которые обеспечивают автоматическую загрузку и выгрузку пластин через системы SMIF. Высокую точность процесса, при которой погрешность совмещения составляет менее ±0,5 мкм, поддерживает интеллектуальная трехточечная система на воздушной подвеске. Последняя позволяет эффективно работать даже с деформированными или сверхтонкими носителями.
Китайский производитель поставил промышленную литографическую установку
Компания Jiangsu Haisi Semiconductor завершила приёмку и подготовила к отгрузке автоматизированный комплекс Mask Aligner, предназначенный для работы с 200-миллиметровыми кремниевыми пластинами. Оборудование с высокой точностью совмещения ориентировано на выпуск микросветодиодов, что знаменует очередной этап локализации производства полупроводников в КНР.
Разработка предназначена преимущественно для выпуска Micro LED на кремниевой основе. Специализирующаяся на контактной литографии компания Jiangsu Haisi Semiconductor уже имеет опыт поставок подобных решений для нужд университетских лабораторий и профильных исследовательских центров. С запуском этого комплекса производитель укрепляет позиции на рынке оборудования для фотолитографии, расширяя возможности своих площадок в Сучжоу и Чэнду.
Комментарии (0)
Пока нет комментариев. Будьте первым!